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對(duì)于一些精密運(yùn)動(dòng)和測(cè)量設(shè)備而言,，需要二維,、三維或者更多維度的高精度的運(yùn)動(dòng)和控制，精度需要達(dá)到微米或者納米級(jí)精度,。在這種情況下,，氣浮平臺(tái)無(wú)疑是極佳的選擇。